Un premier étalon de transfert nanométrique opérationnel
Depuis plusieurs années, le Laboratoire de Métrologie du Groupe Optique de SOLEIL (LMO) bénéficie de l’expertise en métrologie dimensionnelle par Microscopie à Force Atomique (AFM) du LNE (Laboratoire National de métrologie et d'Essais) pour la caractérisation des optiques diffractives utilisées sur les lignes de lumière de SOLEIL. Les échanges réguliers ont permis au LMO de maîtriser ses incertitudes de mesure et, en retour, le LNE a pu bénéficier des moyens de mesures du LMO et du laboratoire de Métrologie Dimensionnelle (MetroDim) de SOLEIL pour le développement d’un AFM métrologique.
La signature d’un accord de partenariat en décembre 2018 entérine donc une situation d’échanges déjà très actifs et officialise le début de nouveaux projets communs, ciblés vers la définition de nouvelles méthodes d’étalonnage pour AFM et notamment le développement d’étalons basés sur des principes originaux : un étalon à marches virtuelles. Il serait réalisé à l’aide d’une platine de translation contrôlée par interférométrie, qui génèrerait des déplacements traçables directement sous la pointe de l’AFM. On obtiendrait ainsi la couverture par un étalon unique de toute la gamme de mesure de l’instrument, ce qui permettrait d’en améliorer la justesse.
Par cet accord, les équipes de SOLEIL auront accès à la plateforme de caractérisation métrologique des nanomatériaux du LNE (plateforme Carmen basée à Saint Quentin en Yvelines). En échange, le LNE aura accès aux moyens de mesures du LMO et du MétroDim de SOLEIL.
Le LMO s’est engagé à demander l’accréditation d’une partie de ses activités de métrologie à la norme ISO 17025 « Exigences générales concernant la compétence des laboratoires d’étalonnages et d’essais ». Pour cela ses instruments doivent être raccordés au Système international d’unités. Le cadre de la nouvelle collaboration facilitera les étalonnages croisés.
Une étape essentielle de cette démarche a été franchie le 1er avril 2019, avec la remise par le LNE d'un premier étalon avec son certificat d’étalonnage à SOLEIL (voir photo ci-dessous).
Figure 1: Remise par l'équipe du LNE du premier étalon destiné au LMO avec son certificat. De gauche à droite : M. Ramaz (LNE) F. Polack et M. Thomasset (SOLEIL- LMO), S. Ducourtieux et A. Delvallée (LNE)