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Les multicouches

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Une multicouche est un revêtement réflecteur formé par une alternance de couches de deux matériaux, respectivement absorbant et transparent au rayonnement incident, déposées sur un substrat (en Silicium).

Un revêtement multicouche a un comportement fortement chromatique. On a, en effet, un maximum de réflectivité quand les réflexions aux interfaces sont en phase pour chaque alternance de couche et donc interfèrent constructivement. Ce qui est équivalent à satisfaire la loi de Bragg :

 2×d(mm)×sin(θmulti)= m×λ(nm) = m×1239,8/E(eV)

où :
- d : période de la multicouche, c'est-à-dire l’épaisseur du couple de matériaux
- θmulti : angle d’attaque de la multicouche
- m : ordre de diffraction
- E : énergie du faisceau réfléchi


Ainsi, pour un angle d’attaque donné, l’énergie sélectionnée dépend directement de l’épaisseur des couches et inversement.

Représentation schématique d'une multicouches -->Multicouches

Pour un angle d’attaque (qmulti) fixé, on fabrique une multicouche avec une période (d) de manière à sélectionner l’énergie (E) souhaitée.


La figure suivante donne un exemple de courbe de réflectivité d’une multicouche constituée d’une alternance de couches de molybdène (Mo) de 50Å et de silicium (Si) de même épaisseur :

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